Vector Extreme
Lam 12英寸薄膜沉積設(shè)備，最多可以配置3個工藝腔體，可以同時對12片wafer進行工藝處理。雙機械手傳送結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)更快的傳送效率。
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相關(guān)產(chǎn)品
描述
產(chǎn)品特點
1.可選配雙硬盤自動備份系統(tǒng)，保證數(shù)據(jù)安全。
2.可選配不同的工藝腔體。
