2300 Metal 系列
2300 Metal 系列是Lam 12英寸金屬膜蝕刻設備，一般根據(jù)平臺可配置1~6腔體。設備采用ICP蝕刻原理，獨立控制離子濃度和轟擊力量，方便調節(jié)工藝性能，以及生產(chǎn)穩(wěn)定。
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相關產(chǎn)品
描述
產(chǎn)品特點
1.設備工藝套件損耗低，維護周期長
2.設備工藝易調節(jié)，且生產(chǎn)穩(wěn)定
3.可以對精細圖案蝕刻
