2300 kiyo 系列
2300 kiyo 系列是Lam 12英寸多晶硅和導(dǎo)體膜膜蝕刻設(shè)備，一般根據(jù)平臺可配置1~6腔體。設(shè)備采用ICP蝕刻原理，獨立控制離子濃度和轟擊力量，方便調(diào)節(jié)工藝性能，以及生產(chǎn)穩(wěn)定。
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描述
產(chǎn)品特點
1.設(shè)備工藝套件損耗低，維護(hù)周期長
2.設(shè)備工藝易調(diào)節(jié)，且生產(chǎn)穩(wěn)定
3.可以對精細(xì)圖案蝕刻
