產(chǎn)品特點

1.獨特多層Loadlock 設(shè)計，配合傳輸邏輯優(yōu)化，產(chǎn)能高，成膜工藝優(yōu)化，膜質(zhì)佳，均勻性好；
2.操作系統(tǒng)基于Windows進行研發(fā)的符合半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)軟件控制系統(tǒng)，操作人性化，符合國人操作習(xí)慣；
3.具有獨立氣體輸運系統(tǒng)，獨立溫度控制Heater 的多反應(yīng)臺腔體設(shè)計；
4.多工位混合工藝方式可滿足多樣性工藝需求；
5.兼容基于硅烷、TEOS氧化膜、氮化膜、硼磷摻雜等不同工藝需求；

應(yīng)用領(lǐng)域

主要應(yīng)用于邏輯芯片及FLASH、 DRAM存儲芯片制造領(lǐng)域。