Producer
Producer系列是AMAT 8&12英寸薄膜沉積設(shè)備,平臺結(jié)合了雙晶圓處理的生產(chǎn)力和優(yōu)勢,最多三個腔室可以安裝在平臺上,允許同時處理6片wafer。
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描述
產(chǎn)品特點
1.8英寸設(shè)備可以很容易升級到12英寸。
2.可選配不同的工藝腔體。