TCP 9400、9600
TCP系列設(shè)備是Lam基于ICP的單腔體型刻蝕設(shè)備，刻蝕線寬≥0.3微米；
主要用于8英寸及以下晶圓的氧化硅、氮化硅、多晶硅、硅及金屬材料的刻蝕。
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描述
產(chǎn)品特點
1.可選配Envision操作系統(tǒng)，提供更便捷的操作，更強的數(shù)據(jù)記錄及數(shù)據(jù)通信。
2.可升級傳送及腔體套件，匹配透明片、薄片的傳送及配套工藝。
3.可定制靜電吸附，滿足超薄晶圓刻蝕。
4.可定制8路MFC，兼容多種研發(fā)用刻蝕工藝。
5.提供多種新工藝開發(fā)及解決方案。
